潔凈氮氣管道的基本介紹及應(yīng)用 

潔凈氮氣管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU)，為了達(dá)到儀器對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并注明管道材質(zhì)

潔凈氮氣管道的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，316L BA管常使用于和芯片接觸但不參與過程反應(yīng)的氣體。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。

潔凈氮氣系統(tǒng)

潔凈氮氣管道在不銹鋼熔煉制材過程中，每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。當(dāng)管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進(jìn)入氣流中，污染純凈氣體。當(dāng)管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動時。

管材對所通過的氣體形成壓力下吸附，氣流停止通過時，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中。同時，吸附、解析周而復(fù)始，使得管材內(nèi)表面金屬也會產(chǎn)生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。潔凈氣體管道的這一特性至關(guān)重要，為了確保輸送的氣體的純凈度，不僅要求管材內(nèi)表面有一個極高的光滑度，而且，應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性。

腐蝕性能較強的氣體時，必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，潔凈氣體管道的管材將會由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴(yán)重時會出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。